Поиск
Сауров Александр Николаевич
член секции член комиссии член бюро отделения
19.05.2025
Создана абсолютно новая технология получения карбида кремния на кремнии
Сотрудники Института проблем машиноведения РАН создали абсолютно новую технологию получения карбида кремния на кремнии — кристаллического материала для микроэлектроники, по характеристикам превосходящего использующиеся в настоящее время кремний. Разработанная технология проста и многократно дешевле существующих зарубежных технологий роста карбида кремния на кремнии. Технология позволяет выращивать карбид кремния на кремнии более высокого кристаллического совершенства по сравнению сосуществующими...
06.12.2023