Поиск
Кочаровский Владимир Владиленович
член отделения член секции
14.10.2025
Конов Виталий Иванович
член отделения член секции
25.06.2025
Физики создали плотную и горячую плазму для получения экстремального ультрафиолетового излучения для передовых полупроводниковых устройств
... литографах для создания микросхем нового поколения. В отличие от используемой сейчас технологии, когда для создания ВУФ излучения используется лазерная импульсная плазма из капель олова, российские специалисты работают с лазерной плазмой из газа атмосферного давления — ксенона. Эксперименты ведутся ...
19.06.2025
Ширяев Олег Борисович
отделение почетного звания
27.05.2022