Поиск

... синтезировали с использованием электронно-пучковой машины «РИТМ-СП», разработанной в Институте сильноточной электроники СО РАН и компании «Микросплав»; она объединяет систему магнетронного распыления и источник низкоэнергетических сильноточных электронных пучков. Вольфрамовую ...

... подложкой из-за разных физических свойств двух материалов. ТНЦ СО РАН, Институт сильноточной электроники СО РАН и инновационная компания «Микросплав» обладают значительным опытом создания такого типа оборудования, где с помощью электронного пучка в едином вакуумном цикле происходит ...