Академия

Микроэлектроника

О журнале

Учредитель
Российская академия наук , Физико-технологический ин-т
Издатель
Российская академия наук
Научно-методическое руководство журнала
ISSN Print
0544-1269


Число выпусков в год
6
Индексация в основных библиографических базах данныx
Общий академический рейтинг RSCI
0,211 (556 из 777)
Тематический академический рейтинг RSCI
0,705 (2 из 18)
Двухлетний импакт-фактор по ядру РИНЦ
Число цитирований в текущем году статей, опубликованных в журнале за предыдущие два года, поделенное на число этих статей. Учитываются ссылки из журналов, входящих в ядро РИНЦ, а также цитирование переводной версии
1,070
Пятилетний импакт-фактор по ядру РИНЦ
Число цитирований в текущем году статей, опубликованных в журнале за предыдущие два года, поделенное на число этих статей. Учитываются ссылки из журналов, входящих в ядро РИНЦ, а также цитирование переводной версии
0,653


Сайт журнала
Профиль журнала в РИНЦ
Переводная версия журнала
Журнал Микроэлектроника основан в 1972 г. Он посвящён технологическим, физическим и схемотехническим аспектам микро- и наноэлектроники. Особое внимание уделяется новым тенденциям в литографии (оптической, рентгеновской, электронной, ионной), травлению, легированию, осаждению и планаризации на субмикронном и нанометровом уровнях. Значительное место отводится плазменным технологиям, молекулярно-пучковой эпитаксии и сухому травлению, а также методам исследования и контроля поверхностей и многослойных структур. Обсуждаются вопросы приборно-технологического моделирования и диагностики технологических процессов в реальном времени. Публикуются статьи о полупроводниковых приборах на базе новых физических явлений, таких как квантовые размерные эффекты и сверхпроводимость. Данное направление исследований охватывает гетероструктуры, нанотранзисторы и полупроводниковые приборы, квантовые биты (кубиты). Рассматриваются проблемы анализа и синтеза электронных схем на биполярных и полевых транзисторах, в частности КМОП- и БиКМОП-схем. Журнал предназначен для специалистов научно-исследовательских институтов, высших учебных заведений и производственно-контрольных лабораторий, а также для аспирантов.
Микроэлектроника

Руководство журнала

главный редактор

ФИО и должность
Телефон
Факс
Электронная почта

заместитель главного редактора

ФИО и должность
Телефон
Факс
Электронная почта
Лукичев Владимир Федорович член-корреспондент РАН

ответственный секретарь журнала

ФИО и должность
Телефон
Факс
Электронная почта

Контакты

117218, Москва, Нахимовский пр-кт, 36, корп.1
Телефон:
Электронная почта